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立式涡轮分子泵的优点是:真空系统的结构简单,在改装旧有扩散泵系统时可直接替代扩散泵而无须改动真空系统结构;其次是泵内只有一组涡轮叶片,因而价格较低廉

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涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子(即动叶轮)、静叶轮和驱动系统等组成。